近日，中国科学院上海微系统与信息技术研究所宣布，其团队在光子芯片制造工艺上取得重要进展。通过优化自动光学检测系统的设置参数，研究人员成功将光子芯片的良率提升至85%以上，这一成果填补了国内在高性能光子 ...
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